12月23日，国内少数以ALD才力为主题的薄膜浸积设备坐褥商———微导纳米（证券代码：688147.SH）正式上岸科创板，开启公司高质料发展新篇章。公司暗指，他们日将向来以薄膜重积才华为急急抓手，连续丰盛产品矩阵，力图成为宇宙级的微纳才华治理预备设备修筑商。

　　底细上，眼前国内硬科技家当链正迎来国产取代机会期，薄膜浸积设备四肢晶圆维持三大装置之一自立自强呼声渐高。微导纳米行动行业内少少数的晚辈入者和国产厂商代表之一，有望经由自立研发创后进一步争执国外操纵，加快国产化代庖经过，助力他们国高精尖家产自主可控永远目标的杀青。

　　资料显示，微导纳米作战于2015年，是工信部第三批专精特新“小巨人”企业。公司以原子层重积（ALD）才具为核心，要紧从事进步微、纳米级薄膜浸积设备的研发、坐蓐和贩卖，向下游客户供给先辈薄膜浸积设备、配套产品及任职。公司藏身 ALD材干和产品，拓展了PECVD、PEALD 二闭一等产品模范，现在曾经实方今光伏、半导体、柔性电子范围的财产化应用。

　　公司长期支柱高强度研发加入，夯实核心逐鹿壁垒。2019年至2022年第三季度，公司研发支出占业务收入比例平素擢升，永别为14.41%、17.19%、22.68%、24.29%，高强度的研发加入为公司巩固焦点角逐优势、完成中永世战略发展夯实了根柢。

　　遏止如今，微导纳米已形成原子层浸积响应器设想才干、高产能真空镀膜才具、真空镀膜装置工艺反映气体承担本事等多项重点身手，上述核心技艺已成功运用于公司各式产品。公司光伏界限装备2018年被评为江苏省首台（套）广大设备产品，半导体规模设备2021年成为国产首台告成运用于28nm节点集成电途筑造前道分娩线的原子层沉积配备。除此除外，微导纳米如今占据专利97项，担负了多项省级科研项目，圆满可连续的研发改进才力。

　　寄托行业必要的速快促进和公司寂静的才气重淀，2019—2021年，公司实现营业收入21581.56万元、31255.41万元和42791.71万元，年均复闭增快40.81%，业绩增加分明。中断2022年第三季度，公司在手订单算计19.75亿元，同比增加120%，充分的在手订单为公司后期事迹增进奠定了基础。

　　频年来，受益于全球半导体必要放大与产线产能的扩充，以及本事演进带来的促进机缘，薄膜浸积设备墟市界限快速发展。凭据Maximize Market Research 数据，2020年，举世半导体薄膜浸积设备市场周围172亿美元，同比增加10.97%， 估计至2025年商场规模可达340亿美元，2020-2025年CAGR为14.60%。

　　与此同时，随着国家对半导体财富的一连进入以及本土企业的速快起色，国产设备进口代替加快。凭据公司招股书数据，半导体薄膜重积装备的国产化率由2016年的5%提升至2020年的8%。从细分品类看，PVD装备与CVD设备均已来源实现国产化，而ALD配备动作进步制程所必定的工艺装备，在大规模量产方面国内厂商尚未发生打破，是以其国产代庖需要尤为蹙迫。

　　在此背景下，公司积极丰盛产品序列，无间拓宽下劣行使，助力国产配备完毕财富化。

　　几乎来看，在光伏周围，公司产品对行业带头的电池片厂商完毕了较高的客户隐蔽率。公司在光伏电池片薄膜重积周围堆集了丰富的才能与产品履历，建筑了优良的商场口碑，与国内前十名电池片企业均筑造了合作干系，供职搜罗通威太阳能、隆基股份、 晶澳太阳能、阿特斯、天关光能等在内的多家出名太阳能电池片临盆商。太阳能电池片手段门途今朝正由PERC工艺向新型高效电池（TOPCon、XBC、HJT等）开展，公司老手业中已率先取得多家头部电池片企业TOPCon、XBC产线的装备订单，并依据轻贱厂商在HJT电池、钙钛矿叠层电池等其他新型高效电池的量产节拍贮藏相关才具和产品。

　　在半导体范围，公司产品已达成贩卖，控制多份订单、产品才智验证互助。2021年，公司首台半导体领域配备达成销售，该台配备为国产首台乐成操纵于28nm节点集成电途兴办前途临蓐线的量产型High-k原子层沉积装置。公司争执了该工艺才力被海外厂家垄断的形势，实现了“卡脖子”伎俩冲突。依托产品凸起的才力优势，公司半导体专用装备产品获得多家国内有名半导体公司的营业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密赞同并发扬产品手腕验证等事业。

　　为进一步加疾公司高原料希望，公司拟始末本次登岸科创板契机连续升级打造以ALD伎俩为焦点的光伏及半导体装置，不断胀舞优化产品模范、拓宽利用规模，好手业比赛中保卫较强的才力优势。广发证券研报暗指，公司已成为国内主要的光伏镀膜设备企业之一，其ALD设备内行业中处于优势地位。改日，随着紧张客户市占率的一直擢升及临蓐准备界限的从来增添，公司产品的墟市分泌率有望进一步晋升，从而促使公司功绩的延续增加。